磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 多级罗茨泵-真空工艺应用
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多级罗茨泵-真空工艺应用

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-10-23 0:52:01 * 浏览: 0
多级罗茨泵的腐蚀性气体版本的优点包括:■理想的是通过调节温度,吹扫的气体流量和速度来调节相关的真空过程■气体置换区域中没有润滑剂■没有工作流体处理问题■■高可靠性和系统正常运行时间■■维护周期长,能耗低,冷却水和冲洗气体介质消耗低,因此拥有成本低■■占用空间小,在洁净室和室内的性能良好泵级别■■集成在监控网络中的丰富控制选项,本地或远程控制■■z *泄漏率小■■对于腐蚀性过程中的涡轮分子泵和罗茨泵是理想的前级泵已通过认证,符合UL / CSA和SEMIS2要求。灰尘和颗粒处理泵接触从处理室和前部真空管道输送到泵中的颗粒。另外,还必须容许由副产物反应在泵本身中的冷凝产生的颗粒和沉积物。理想地,通过使用可调节的加热和温度控制模式,可以避免颗粒和沉积物的形成。通过沿垂直方向泵送,从泵级落下的所有颗粒均保留在下一级的排放通道中。在下一次排气和随后的疏散之后,颗粒将立即被替换气体排放到下一阶段。这种消除机制将从入口到出口产生的98%以上的颗粒排出。这意味着可以在泵出口处提供中央排气净化系统,该系统不仅可以捕集和处理工艺化学品,而且还可以捕集和加工颗粒。只要在适用于腐蚀性,有毒和可冷凝介质的真空溶液中可行,就可以避免在入口侧形成高维护陷阱。 P和H系列腐蚀性气体的多级罗茨泵是专为丝网和丝网半导体,太阳能和涂料行业中的腐蚀性气体工艺设计的。泵的金属转子和定子以及弹性体材料由高度耐腐蚀的材料制成。高泄漏率和气密性以及防止气体通过止回阀从周围的空气或排气净化系统或洗涤器中回膨胀的能力,使多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的理想解决方案。密封电机也是防漏概念的一部分。