真空计的检漏灵敏度

上面分别介绍了导热真空计法，电离真空计法和差示真空计法，它们的灵敏度可以用一个共同的表达式表示。让真空系统的泄漏率为q。当泄漏的入口端是大气时，真空计的读数为N。当泄漏的入口端进入泄漏物质时，真空计的读数为N2。如果q = 0，则真空计读取No。引入系数phi，并将phi称为简化系数。如果真空系统的抽速为S，则真空计z *可以读取的压力变化为△pA（对于空气），则z *的检漏率很小：如果工作压力为pA表13-8和表13.9分别列出了该方法的phi和△pA。 ApA和pA之间的关系如图13-15所示。表13mdash，8和表13-9以及图13-15的使用方法如下所示：例如，如果氢气用作泄漏气体，而单个电离真空计用于检测泄漏， 13-9表示-0.4，如果抽速S-10L / s，pA-10-4Pa。从图13-15中的曲线（1）可以看出，ApA = 2倍，10-6Pa。使用公式（13-37），可以看到计算结果与公式（13 -32）基本一致。