磁盘空间不足。 磁盘空间不足。 真空计的检漏灵敏度
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真空计的检漏灵敏度

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-29 1:05:43 * 浏览: 0
上面分别介绍了导热真空计法,电离真空计法和差示真空计法,它们的灵敏度可以用一个共同的表达式表示。让真空系统的泄漏率为q。当泄漏的入口端是大气时,真空计的读数为N。当泄漏的入口端进入泄漏物质时,真空计的读数为N2。如果q = 0,则真空计读取No。引入系数phi,并将phi称为简化系数。如果真空系统的抽速为S,则真空计z *可以读取的压力变化为△pA(对于空气),则z *的检漏率很小:如果工作压力为pA表13-8和表13.9分别列出了该方法的phi和△pA。 ApA和pA之间的关系如图13-15所示。表13mdash,8和表13-9以及图13-15的使用方法如下所示:例如,如果氢气用作泄漏气体,而单个电离真空计用于检测泄漏, 13-9表示-0.4,如果抽速S-10L / s,pA-10-4Pa。从图13-15中的曲线(1)可以看出,ApA = 2倍,10-6Pa。使用公式(13-37),可以看到计算结果与公式(13 -32)基本一致。